亚洲一区二区久久久精品|永久黄网站色视频在线观看亚洲|69亚洲欧洲视频在线观看|中文字幕亚洲第一第二第三区

快速導(dǎo)航
 
接近開關(guān)、光電開關(guān)等傳感器應(yīng)用案例
光電開關(guān)各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)常用術(shù)語
光電開關(guān)的幾種分類
接近開關(guān)的檢測距離是什么
接近開關(guān)選用時需要注意什么
接近開關(guān)的型號選擇與特性測量
接近開關(guān)主要用途及采用常見問題
接近開關(guān)二種安裝方法的差別
壓力變送器安裝時需要注意哪些
選擇傳感器時需要考慮哪些環(huán)境因素
稱重傳感器的標(biāo)定校驗(yàn)方法步驟
液位傳感器的動態(tài)特性
電容式液位傳感器的特點(diǎn)
什么是磁性液位傳感器
如何選用壓力傳感器測量泥漿壓力
快速搜索
 
樣本手冊
 
 當(dāng)前位置:首頁 - 其他內(nèi)容 - 技術(shù)支持
 
高過載低量程測試傳感器的選擇比較
 
更新時間:2017.06.27 瀏覽次數(shù):
 

一、前言

動態(tài)測試領(lǐng)域中傳感器的高過載低量程一直是未能徹底解決的問題,這主要是因?yàn)閭鹘y(tǒng)工藝傳感器固有的特性或工藝不能滿足這一特定環(huán)境的要求。傳統(tǒng)的壓電傳感器由于輸出阻抗高,低頻特性較差,在高過載后常發(fā)生零漂現(xiàn)象,使得測量數(shù)據(jù)不能真實(shí)再現(xiàn)被測量的動態(tài)過程,而傳統(tǒng)工藝的壓阻和電容傳感器雖然在頻響方面能滿足測試要求,低頻漂移較小,但由于制造工藝的原因,也不能較好解決這一測試問題。

現(xiàn)在,MEMS技術(shù)的發(fā)展為傳感器技術(shù)的發(fā)展提供了一個機(jī)會,MEMS加速度傳感器尺寸小、質(zhì)量輕,抗過載能力高、動態(tài)響應(yīng)快,因此,在動態(tài)測試領(lǐng)域?qū)⒂袕V闊前景。

二、MEMS傳感器的原理、結(jié)構(gòu)、工藝及特點(diǎn)

三、MEMS加速度計(jì)主要由一個懸臂梁構(gòu)成,梁的一端固定,另一端懸掛一個能感應(yīng)由加速度產(chǎn)生的作用力的質(zhì)量塊,其結(jié)構(gòu)如圖1所示。目前,已有壓阻式、電容式、隧道式、共振式、熱形式等幾種類型

[1]本文將主要介紹壓阻式加速度傳感器。

壓阻式加速度傳感器一般為三層結(jié)構(gòu):頂層和底座通常為玻璃或硅片,起密封和過載保護(hù)作用,底座上還有前置放大和各種補(bǔ)償電路

[2]中間層是用體硅加工工藝加工出的懸臂和質(zhì)量塊,并且,在懸臂上用離子注入工藝制作出應(yīng)變電阻器,當(dāng)質(zhì)量塊受到力運(yùn)動時,電阻器的阻值變化,通過惠斯通電橋檢出電阻變化量,以此求得加速度值。

制作傳感器的微機(jī)械加工技術(shù)可分為體微機(jī)械加工和表面微機(jī)械加工兩種。體微機(jī)械加工技術(shù)是對單晶硅或有表膜的體硅進(jìn)行腐蝕,從而得到預(yù)期微結(jié)構(gòu)的一種加工技術(shù);而表面微機(jī)械加工技術(shù)則是對沉積或生長在基片上的多層膜進(jìn)行加工,得到各種微機(jī)械結(jié)構(gòu)的加工技術(shù)。體微機(jī)械加工技術(shù)中關(guān)鍵的步驟是腐蝕工藝,分為濕法腐蝕和干法腐蝕兩種,目前被廣泛使用的是濕法腐蝕工藝,其包括各向同性與各向異性腐蝕。各向同性腐蝕是指在晶片各個方向上腐蝕速度相等,可以制作出任意橫向幾何形狀微細(xì)圖形結(jié)構(gòu)的方法,而各向異性腐蝕則是與被腐蝕晶片的結(jié)構(gòu)方向有關(guān)的腐蝕方法,利用掩蔽圖形與不同晶面的對準(zhǔn)角關(guān)系,可以制作出深度達(dá)幾十微米的不同種三維空間結(jié)構(gòu),如V型槽、懸臂梁、懸臺結(jié)構(gòu)等。

MEMS傳感器的特點(diǎn)是有質(zhì)量塊位移限位結(jié)構(gòu),使質(zhì)量塊在高過載激勵下的位移被限制在安全的形變范圍內(nèi)。此外,傳感器和信號處理電路系統(tǒng)還都采用抗高過載封裝技術(shù)封裝在同一個硅片上。

以上內(nèi)容就是我們?yōu)槟暮唵谓榻B,如果您想了解更多這方面的知識,或者了解接近傳感器的型號,歡迎您撥打電話025-66075066聯(lián)系我們,我們將竭誠為您服務(wù)。

本站推薦:南京凱基特電氣有限公司主營接近開關(guān)、光電開關(guān)、拉繩開關(guān)等電氣用品,支持批發(fā)代理加盟。
首頁 |  全部產(chǎn)品 |  實(shí)用文章 |  新聞動態(tài) |  工程案例 |  企業(yè)簡介 |  購物車 |  聯(lián)系我們 | 
點(diǎn)擊咨詢傳感器廠家固定電話:400-6366-987 傳真:025-87168200 網(wǎng)站技術(shù)支持:南京seo備案號:蘇ICP備12080292號