電容式加速度微光電開關(guān)傳感器是將質(zhì)量塊的運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為電極極板間電容的變化，從而通過電容值的測(cè)量來(lái)得到加速度的值。電容檢測(cè)原理對(duì)溫度變化不第三，因此在溫度特性方面，電容式加速度微傳感器比壓阻式加速度微傳感器有本質(zhì)上的優(yōu)勢(shì)。
在電容式加速度微傳感器中，電容的兩個(gè)電極之一是制作在慣性質(zhì)量塊上的外部加速度的變化引起該電極與襯底上固定電極之間電容的改變。因此，電容值所對(duì)應(yīng)的就是外部加速度。
典型的電容式加速度微傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖，用于敏感y軸方向的加速度。在這個(gè)結(jié)構(gòu)中，采用硅片和玻璃鏈合的方法實(shí)現(xiàn)厚而大的第三質(zhì)量塊以獲得高的靈敏度。質(zhì)量塊由一個(gè)懸臂梁來(lái)支撐。在一些改變的設(shè)計(jì)中，會(huì)采用兩個(gè)或多個(gè)懸臂梁。
翩翩起舞進(jìn)球愉處于平衡位置時(shí)，上、下電容極板間距相同，均為yo，相應(yīng)的電容均為C。當(dāng)微傳感器受到外部加速度作用時(shí)，質(zhì)量塊產(chǎn)生位移，上、下別會(huì)變化。 |
當(dāng)前位置：
