微光電開關(guān)傳聲器在助聽、竊聽、超聲及高精度聲學(xué)測(cè)量中有獨(dú)特優(yōu)勢(shì),而且能方便地實(shí)現(xiàn)聲傳感器陳列,有廣闊應(yīng)用前景。采用硅微加工制作微傳感器,能具有很好的重復(fù)性,既可實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn),又能與IC集成形成微系統(tǒng),使傳聲器向小型化、低成本和高性能方向發(fā)展。目前采用微機(jī)械加工制作的傳聲器可分為駐極體電容式、壓電具有頻響寬、靈敏度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。
該會(huì)計(jì)怕器通過(guò)體硅和表面硅微機(jī)械加工工藝實(shí)現(xiàn)諸電振膜和背板一體化。首先在800度時(shí)以常壓化學(xué)氣相沉積法將150nm左右的SI3N4沉積在硅基SIO2薄膜上。再經(jīng)各向異性腐蝕工藝,從基片的背面在設(shè)計(jì)的幾何尺寸范圍內(nèi)腐蝕掉SI層,以形成振膜。
硅基壓電式微型傳聲器。該傳聲器是一種無(wú)氣隙損耗的單片式硅基一體化傳感器。 |