MIS二極管光電開關的伏安特性對氫氣很敏感,當氫氣體積分數(shù)改變時,伏安特性會發(fā)生明顯的變化,因而可利用它來檢測氫氣。C-W儲備大學開發(fā)了帶有加熱器和測溫元件的MIS二極管型微結(jié)構氫敏傳感器,為了提高靈敏度和耐久性,電極金屬用PD-AG合金。用集成電路工藝制造出加熱器、測溫元件和MIS二極管,最手用犧牲層工藝從背面將硅片選擇性地減薄。 這種測氫二極管在正偏或反偏狀態(tài)下都可測氫氣體積分數(shù):用恒流源正偏置MIS二極管,其正偏壓降可定量顯示氫氣的體積分數(shù);用恒壓源反偏置MIS二極管,反向漏電流可定量顯示氫氣體積分數(shù)。 |