氣敏電阻式傳感器一般由敏感元件、加熱器和外殼組成,此組成方式和光電開(kāi)關(guān)傳感器有的不同,具體情況如下。 1、按結(jié)構(gòu)分 氣敏電阻式傳感器按結(jié)構(gòu)可分為燒結(jié)型、薄膜型和厚膜型,燒結(jié)型以氧化物半導(dǎo)體材料為基體,將電極和加熱器埋入金屬氧化物中,另熱加壓成型,再用低溫制陶工藝燒結(jié)制成,又稱(chēng)為半導(dǎo)體陶瓷,制作方法簡(jiǎn)單,壽命長(zhǎng),但是誤差較大;薄膜型是用蒸發(fā)和濺射方法在絕緣基片上形成氧化物薄膜,具有靈敏度高和反應(yīng)速度快的特點(diǎn);厚膜型是將氣敏材料和硅凝膠制成厚膜膠,然后將厚膜膠用絲網(wǎng)印刷到裝有鉑電極的基片上,燒制后制成,具有適合批量生產(chǎn)的特點(diǎn)。 2、按加熱方式分 氣敏電阻式傳感器按加熱方式可分為直熱型和旁熱型。 直接熱型氣敏電阻式傳感器這種傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低,但易受環(huán)境氣流影響,穩(wěn)定性差。 旁熱型氣敏電阻式傳感器是管芯結(jié)構(gòu)的測(cè)量電路加熱器分離,避免相互干擾,這種傳感器可靠性和使用壽命比直熱型高。 |