隨半導體集成電路技術的發(fā)展,出現了一批基于集成工藝的光電器件,如光位置傳感器、集成光敏對管和CCD、CMOS圖像器件以及色敏器件等。 1、光位置光電開關傳感器是當光照射到硅光敏二極管的某一位置時,結區(qū)產生的空穴向P層漂移,光生電子向N層漂移。到達P層額空穴分成兩部分:一部分沿表面電子R1流向1端形成光電流i1;另一部分沿表面電阻R2流向2端形成光流I2.當電阻層均勻時是不受光強度變化影響。 光敏對管為滿足光電檢測中的差動輸出等應用需要,可將兩個光敏電阻對稱布置在同一光敏面上,也可將光敏三極管制成對管形式,構成集成光敏器件。 光電池的集成工藝比較簡單,它不僅可制成兩元件對稱布置的形式,而且可制成多個元件的線陣或二維面陣。光敏元件陣列傳感器相對CCD圖像傳感器而言,每個元件都需要相應的輸出電路,故電路較龐大,但是用HgCdTe元件、InSb等制成的線陣和面陣紅外傳感器,在紅外檢測領域中仍獲得較多的應用。 |