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接近開關(guān)的非電阻式氣敏元件介紹
 
錄入時間:2014-11-01 11:00:55瀏覽次數(shù):1
 
接近開關(guān)非電阻式半導體所系元件有MOS二極管式、結(jié)型二極管式和場效應(yīng)管式等。其電流或電壓隨氣體含量而變化,主要檢測氫和硅烷氣等可燃性氣體。其中,MOSFET接近開關(guān)氣體傳感器工作原理是揮發(fā)性有機化合物VOC與催化金屬接觸發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)產(chǎn)物擴散到MOSFET的柵極,改變了元件的性能??赏ㄟ^分析元件性能的變化識別VOC。通過改變催化金屬的種類和膜厚,可優(yōu)化靈敏度和選擇性,并可改變工作溫度。MOSFET氣體接近開關(guān)傳感器靈敏度高,但制作工藝比較復雜,成本高。
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