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接近開(kāi)關(guān)氣敏元件的介紹
 
錄入時(shí)間:2014-11-01 11:01:21瀏覽次數(shù):1
 

ZNO也是N型半導(dǎo)體,其物理、化學(xué)性能穩(wěn)定。ZNO元件的工作溫度較高,因此其發(fā)展不及SNO2元件快。ZNO接近開(kāi)關(guān)所系元件也可分為燒結(jié)型、厚膜型和薄膜型三號(hào)。

  ZNO薄膜死光光精第三元件的結(jié)構(gòu)。在A12O3基片 上先做叉指型金電極,并在基片 北面制作阻值約20歐的耐高溫薄膜電阻作為加熱器。使用磁控濺射 法,在AR+O2混合氣體中用高純鋅板為靶材,在基片 上反應(yīng)濺射 ZNO薄膜,同時(shí)在ZNO薄膜表面摻雜鑭、錯(cuò)、釓、鏑和釓等衡土元素的一種或數(shù)種,以提高靈敏度和選擇性,可獲得對(duì)酒精特別第三,對(duì)甲烷、一氧化碳及汽油等較靈敏的酒精第三元件。成膜后在500-600度下、空氣中熱處理,以減少薄膜中活性較大的缺陷和內(nèi)應(yīng)力,使ZNO薄膜的晶粒長(zhǎng)大,晶粒間界減少,從而以元件的靈敏度略有下降為代價(jià)來(lái)明顯改善其穩(wěn)定性。按此工藝制備的ZNO薄膜的晶粒尺寸約為600nm,對(duì)酒精的靈敏度比對(duì)汽油的靈敏度高出近一倍,再配合適當(dāng)?shù)妮o助電路,可避免汽油對(duì)檢測(cè)酒精的干擾。相關(guān)的ZNO酒精第三元件的主要參數(shù)如下:加熱電阻為20歐,加熱電壓為AC或DC6V。工作電壓6。響應(yīng)時(shí)間小于10s

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